傳明酸檢測項目標準明細
2023-02-20
儀器檢測服務(wù)
在市場上,無塵布品種多樣,用途廣泛,價格更是高低不平,客戶在采購無塵布時主要通過無塵布的材質(zhì)、吸收率等來評估無塵布性能和費用。
而在半導體行業(yè)的潔凈室中對無塵布塵粒、離子、ESD等有很高的要求。碩源科技為此提供了一些評估無塵布的方法。
無塵布需進行嚴格檢測以達到性能要求和污染控制標準,一般無塵布需進行以下檢測:
1、抗磨損性檢測
通常,抗磨損性檢測屬于布料物理性質(zhì)的檢測。但在無塵布的檢測中,因為磨損的過程會產(chǎn)生塵粒,因此,將無塵布的抗磨損性檢測歸納為污染控制范圍更合適。
檢測標準:抗磨損性越強越不容易產(chǎn)生塵粒。
2、克重
根據(jù)ASTM-D-3776檢測無塵布單位面積的重量
參考檢測標準:一般要求在150-300g/㎡
3、吸液量和吸液速度
根據(jù)IEST-RP-CC004.3第8節(jié)要求,需檢測無塵布的吸收量和吸收速率。
吸液量反映的是單位面積的無塵擦拭布的吸收液體的毫升數(shù)。
吸液速率是指無塵布吸收10ml液體所需的時間。
以上兩種測量都須測量三次并計算平均值
*參考檢測標準:吸液量一般不小于400g/㎡
吸液速度一般不大于1秒。
4、IC檢測
根據(jù)IEST-RP-CC004.3第7.2節(jié)要求,定性定量地測量無機陰陽離子含量。
參考檢測標準,在磁頭行業(yè),一般要求CL-≤0.03ug/c㎡;SO42-≤0.03ug/c㎡;NO3-≤0.03ugc㎡;Total:<1.0ug/c㎡
5、NVR檢測
根據(jù)IEST-RP-CC004.3第7.1節(jié)要求,檢測單位面積上的無揮發(fā)性殘留物。
NVR檢測是將無塵布浸泡于一定量的溶劑中一定量的時間,然后將無塵布取出,檢測溶于溶劑中的無揮發(fā)性殘留物的質(zhì)量。
參考檢測標準:在磁頭行業(yè),一般要求<3.0ug/c㎡
6、LPC檢測
根據(jù)IEST-RP-CC004.3第6.2.1節(jié)的要求,對無塵布進行LPC檢測。
LPC可檢測無塵布上的液態(tài)塵粒數(shù)。
LPC檢測是將無塵布浸泡在一定量的DI水中,經(jīng)過超聲波振蕩,檢測DI水中的塵粒濃度。*參考檢測標準:在磁頭行業(yè),一般要求<30counts/c㎡
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