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光刻膠成分檢測

2024-04-26

檢測范圍:

光聚合型光刻膠、光分解型光刻膠、光交聯(lián)型光刻膠、含硅光刻膠光刻膠等。

檢測項目:

化學(xué)成分分析、配方分析、核磁分析、FTIR紅外分析、GC-MS分析、X熒光分析等。

依據(jù)檢測標(biāo)準(zhǔn)

ASTM F581-78(1991)e1 光刻膠加速老化的實施規(guī)程

IPC MI-660 5.3-1984 干電影光刻膠

GOST R 52250-2004 電子工程材料.光刻工藝抗蝕劑.通用規(guī)范

檢測流程

檢測流程

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