標準簡介：本標準規(guī)定了離子束蝕刻機的術(shù)語、產(chǎn)品分類、技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則以及包裝、運輸、貯存等。本標準適用于物理濺射腐蝕作用的通用離子束蝕刻機。

標準號：GB/T 15861-1995

標準名稱：離子束蝕刻機通用技術(shù)條件

英文名稱：Generic specification of ion beam etching system

標準類型：國家標準

標準性質(zhì)：推薦性

標準狀態(tài)：作廢

發(fā)布日期：1995-01-02

實施日期：1996-08-01

中國標準分類號（CCS）：電子元器件與信息技術(shù)>>電子工業(yè)生產(chǎn)設(shè)備>>L97加工專用設(shè)備

國際標準分類號（ICS）：電子學(xué)>>31.200集成電路、微電子學(xué)

替代以下標準：被GB/T 15861-2012代替

起草單位：電子部長沙半導(dǎo)體工藝設(shè)備所

歸口單位：信息產(chǎn)業(yè)部（電子）

發(fā)布單位：國家技術(shù)監(jiān)督局

檢測流程

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