標準編號：GB/T 14140-2009硅片直徑測量方法

標準狀態(tài)：現(xiàn)行

英文名稱： Test method for measuring diameter of semiconductor wafer

替代情況： 替代GB/T 14140.1-1993;GB/T 14140.2-1993

中標分類： 冶金>>半金屬與半導(dǎo)體材料>>H82元素半導(dǎo)體材料

ICS分類： 電氣工程>>29.045半導(dǎo)體材料

發(fā)布部門： 中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會

發(fā)布日期： 2009-11-30

實施日期： 2010-06-01

首發(fā)日期： 1993-02-06

提出單位： 全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標準化技術(shù)委員會(SAC/TC203)

檢測流程

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