標準編號：GB/T 14139-2009硅外延片

標準狀態(tài)：現行

標準簡介：本標準規(guī)定了硅外延片的產品分類、技術要求、試驗方法和檢驗規(guī)則及標志、包裝運輸、貯存等。本標準適用于在N 型硅拋光片襯底上生長的n型外延層(N/N+ )和在p型硅拋光片襯底上生長的P型外延層(P/P+ )的同質硅外延片。產品主要用于制作硅半導體器件。其他類型的硅外延片可參照使用。

英文名稱： Silicon epitaxial wafers

替代情況： 替代GB/T 14139-1993;被GB/T 14139-2019代替

中標分類： 冶金>>半金屬與半導體材料>>H80半金屬與半導體材料綜合

ICS分類： 電氣工程>>29.045半導體材料

發(fā)布部門： 中華人民共和國國家質量監(jiān)督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會

發(fā)布日期： 2009-10-30

實施日期： 2010-06-01

作廢日期： 2020-05-01

首發(fā)日期： 1993-02-06

提出單位： 全國半導體設備和材料標準化技術委員會

檢測流程

溫馨提示：以上內容僅供參考，更多其他檢測內容請咨詢客服。