GB/T 38446-2020.Micro-electromechanical system technology-Test methods for tensile property measurement of strip thin films.
1范圍
GB/T 38446規(guī)定了帶狀薄膜抗拉性能的試驗方法及數(shù)據(jù)處理。
GB/T 38446適用于厚度在50nm到數(shù)微米之間且長度和厚度的比值大于300的樣品,也可用于MEMS產(chǎn)品帶狀薄膜結構的質(zhì)量監(jiān)控。
2規(guī)范性引用文件
下列文件對于本文件的應用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,僅注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。
GB/T 26111微機電系統(tǒng)(MEMS)技術術語
3術語和定義
GB/T 26111界定的以及下列術語和定義適用于本文件。
3.1
彈性模量 modulus of elasticity
材料在彈性變形階段時,應力與應變的比值。
注:改寫GB/T 3102.3-1993,定義3.18.1。
3.2
屈服強度 yield strength
Re
當材料呈現(xiàn)屈服現(xiàn)象時,在試驗期間達到塑性變形發(fā)生而力不增加的應力點。
注1:改寫GB/T 228.1-2010,定義3.10.2。
注2:對于屈服現(xiàn)象明顯的材料,屈服強度就是材料發(fā)生屈服現(xiàn)象時屈服極限的應力;對于屈服現(xiàn)象不明顯的材料，屈服強度為應變達到殘余應變0.2%時的應力。
3.3
抗拉強度 tensile strength
Rm
材料拉斷過程中對應的最大應力。
注:改寫GB/T 228.1-2010,定義3.10.1。
3.4
撓度 deflection
w
樣品結構軸線在垂直于軸線方向的線位移或中面在垂直于中面方向的線位移。

檢測流程

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