標準編號：GB/T 24577-2009熱解吸氣相色譜法測定硅片表面的有機污染物

標準狀態(tài)：現(xiàn)行

標準簡介：本標準規(guī)定了硅片表面的有機污染物的定性和定量方法,采用氣質(zhì)聯(lián)用儀或磷選擇檢測器或者兩者同時采用。

英文名稱： Test methods for analyzing organic contaminants on silicon wafer surfaces by thermal desorption gas chromatography

中標分類： 冶金>>半金屬與半導體材料>>H80半金屬與半導體材料綜合

ICS分類： 電氣工程>>29.045半導體材料

采標情況： MOD SEMI MF 1982-1103

發(fā)布部門： 中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會

發(fā)布日期： 2009-10-30

實施日期： 2010-06-01

首發(fā)日期： 2009-10-30

提出單位： 全國半導體設(shè)備和材料標準化技術(shù)委員會

檢測流程

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