標(biāo)準(zhǔn)簡介：本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子工業(yè)用氣體氮的技術(shù)要求,試驗(yàn)方法以及包裝、標(biāo)志、貯運(yùn)及安全。本標(biāo)準(zhǔn)適用于以深冷法從空氣中提取的氣態(tài)和液態(tài)氮,以及經(jīng)電化學(xué)方法得到的氮。它們?cè)诔笠?guī)模集成電路制造中用作保護(hù)、吹掃、覆蓋、加壓,化學(xué)氣相淀積等。

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 16944-2009

標(biāo)準(zhǔn)名稱：電子工業(yè)用氣體 氮

英文名稱：Gas for electronic industry—Nitrogen

標(biāo)準(zhǔn)類型：國家標(biāo)準(zhǔn)

標(biāo)準(zhǔn)性質(zhì)：推薦性

標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行

發(fā)布日期：2009-10-30

實(shí)施日期：2010-05-01

中國標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)（CCS）：化工>>其他化工產(chǎn)品>>G86工業(yè)氣體與化學(xué)氣體

國際標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)（ICS）：化工技術(shù)>>化工產(chǎn)品>>71.100.20工業(yè)氣體

替代以下標(biāo)準(zhǔn)：替代GB/T 16944-1997

起草單位：中國計(jì)量科學(xué)研究院、西南化工研究設(shè)計(jì)院

歸口單位：全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)氣體分技術(shù)委員會(huì)

發(fā)布單位：國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫.

檢測流程

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