標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介：標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子工業(yè)用氦氣的技術(shù)要求、檢驗(yàn)方法以及包裝、標(biāo)志等，適用于以深冷法從天然氣、空氣或工廠弛放氣提取的高純度氦，在半導(dǎo)體及其器件生產(chǎn)中用作清洗氣、加壓氣，也用作載氣和保護(hù)氣等。

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 16943-1997

標(biāo)準(zhǔn)名稱：電子工業(yè)用氣體 氦

英文名稱：Gases for electronic industry--Helium

標(biāo)準(zhǔn)類型：國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

標(biāo)準(zhǔn)性質(zhì)：推薦性

標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：作廢

發(fā)布日期：1997-08-13

實(shí)施日期：1998-05-01

中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)（CCS）：化工>>其他化工產(chǎn)品>>G86工業(yè)氣體與化學(xué)氣體

國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)（ICS）：化工技術(shù)>>化工產(chǎn)品>>71.100.20工業(yè)氣體

替代以下標(biāo)準(zhǔn)：被GB/T 16943-2009代替

起草單位：化學(xué)工業(yè)部西南化工研究院

歸口單位：全國(guó)半導(dǎo)體材料和設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)

發(fā)布單位：國(guó)家技術(shù)監(jiān)督局

檢測(cè)流程

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