標準簡介：本標準規(guī)定了電子工業(yè)用氫的技術要求,試驗方法以及包裝、標志、貯運及安全。本標準適用于以氫氣為原料經凈化制取的瓶裝、集裝格裝和管道輸送的電子工業(yè)用氫氣。它們主要被用來提供還原氣氛,作為外延工藝的載氣以及等離子體蝕刻劑的配氣原料。

標準號：GB/T 16942-2009

標準名稱：電子工業(yè)用氣體 氫

英文名稱：Gas for electronic industry—Hydrogen

標準類型：國家標準

標準性質：推薦性

標準狀態(tài)：現行

發(fā)布日期：2009-10-30

實施日期：2010-05-01

中國標準分類號（CCS）：化工>>其他化工產品>>G86工業(yè)氣體與化學氣體

國際標準分類號（ICS）：化工技術>>化工產品>>71.100.20工業(yè)氣體

替代以下標準：替代GB/T 16942-1997

起草單位：中國計量科學研究院、西南化工研究設計院

歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會氣體分技術委員會

發(fā)布單位：國家質量監(jiān)督檢驗檢疫.

檢測流程

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