標(biāo)準(zhǔn)簡介：本標(biāo)準(zhǔn)的目的是規(guī)定計量系統(tǒng)進(jìn)行光刻工藝中CD圖形尺寸計量精確度的統(tǒng)一方法。本標(biāo)準(zhǔn)不涉及如何用這些計量系統(tǒng)去解決問題，也不涉及工藝中其他影響因素的變化，如大圓片的熱處理、曝光機(jī)的聚集控制、以及材料等。

標(biāo)準(zhǔn)號：GB/T 17864-1999

標(biāo)準(zhǔn)名稱：關(guān)鍵尺寸（CD）計量方法

英文名稱：CD Metrology procedures

標(biāo)準(zhǔn)類型：國家標(biāo)準(zhǔn)

標(biāo)準(zhǔn)性質(zhì)：推薦性

標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行

發(fā)布日期：1999-09-01

實施日期：2000-06-01

中國標(biāo)準(zhǔn)分類號（CCS）：電子元器件與信息技術(shù)>>微電路>>L56半導(dǎo)體集成電路

國際標(biāo)準(zhǔn)分類號（ICS）：電子學(xué)>>31.200集成電路、微電子學(xué)

替代以下標(biāo)準(zhǔn)：GB/T 9043-1988

起草單位：中國科學(xué)院微電子中心

歸口單位：全國半導(dǎo)體材料和設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會

發(fā)布單位：國家質(zhì)量技術(shù)監(jiān)督局

檢測流程

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