標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介：本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了俄歇電子能譜和部分類(lèi)型的 X射線(xiàn)光電子能譜檢測(cè)信號(hào)對(duì)應(yīng)樣品區(qū)域的確定方法。本標(biāo)準(zhǔn)適用于俄歇電子能譜儀和具有以下條件的 X射線(xiàn)光電子能譜:入射 X光束激發(fā)的樣品區(qū)域大于分析器可檢測(cè)到的樣品區(qū)域;光電子從樣品到分析器入口的過(guò)程中經(jīng)過(guò)自由空間;裝配有輔助電子槍可以產(chǎn)生一束可變能量的電子束照射到樣品上。

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 31470-2015

標(biāo)準(zhǔn)名稱(chēng)：俄歇電子能譜與X射線(xiàn)光電子能譜測(cè)試中確定檢測(cè)信號(hào)對(duì)應(yīng)樣品區(qū)域的通則

英文名稱(chēng)：Standard practice for determination of the specimen area contributing to the detected signal in Auger electron spectrometers and some X-ray photoelectron spectrometers

標(biāo)準(zhǔn)類(lèi)型：國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

標(biāo)準(zhǔn)性質(zhì)：推薦性

標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行

發(fā)布日期：2015-05-15

實(shí)施日期：2016-01-01

中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)分類(lèi)號(hào)（CCS）：儀器、儀表>>電工儀器儀表>>N26綜合測(cè)試系統(tǒng)

國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)分類(lèi)號(hào)（ICS）：計(jì)量學(xué)和測(cè)量、物理現(xiàn)象>>電學(xué)、磁學(xué)、電和磁的測(cè)量>>17.220.20電和磁量值的測(cè)量

起草單位：信息產(chǎn)業(yè)專(zhuān)用材料質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心、中國(guó)電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院、蘇州晶瑞化學(xué)有限公司、天津中環(huán)領(lǐng)先材料技術(shù)有限公司

歸口單位：全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC203)

發(fā)布單位：國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫.

檢測(cè)流程

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