標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介：本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了MEMS結(jié)構(gòu)共振疲勞試驗(yàn)的試驗(yàn)方法，包括設(shè)備、試驗(yàn)環(huán)境、樣品要求、試驗(yàn)條件和試驗(yàn)步驟。本標(biāo)準(zhǔn)適用于MEMS結(jié)構(gòu)的共振疲勞試驗(yàn)。

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 38447-2020

標(biāo)準(zhǔn)名稱(chēng)：微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) MEMS結(jié)構(gòu)共振疲勞試驗(yàn)方法

英文名稱(chēng)：Micro-electromechanical system technology—Fatigue testing method of MEMS structure using resonant vibration

標(biāo)準(zhǔn)類(lèi)型：國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

標(biāo)準(zhǔn)性質(zhì)：推薦性

標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行

發(fā)布日期：2020-03-06

實(shí)施日期：2020-07-01

中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)分類(lèi)號(hào)（CCS）：電子元器件與信息技術(shù)>>微電路>>L55微電路綜合

國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)分類(lèi)號(hào)（ICS）：電子學(xué)>>31.200集成電路、微電子學(xué)

起草單位：北京大學(xué)、中機(jī)生產(chǎn)力促進(jìn)中心、北京智芯傳感科技有限公司、沈陽(yáng)國(guó)儀檢測(cè)技術(shù)有限公司、浙江博亞精密機(jī)械有限公司、中北大學(xué)、北京必創(chuàng)科技股份有限公司

歸口單位：全國(guó)微機(jī)電技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC 336)

發(fā)布單位：國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局.

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